HEPA utilizat de ieșirea eficientă a aerului adoptă elementul de filtru H14 de înaltă performanță, rezistență scăzută, rezistent la ulei, prin linia de asamblare internă avansată origami în producția și instalarea camerei curate, eficiență de filtrare ≥0,3um, praf ≥99,99% ( metoda capcanei de sodiu), pentru a asigura curățenia mesei curate până la ISO5 (FEDERAL 209E100).
DOP/port de detectare a presiunii diferențiale, rezervor de lichid, supapă de aer reglată în jos, difuzor, turbion și alte plăci de difuzor.Tot.